最先端半導体チップの製造に不可欠な「Advanced Process Control(APC)」の全貌 | サイエンス リポート | TELESCOPE magazine
最先端の半導体チップは、回路パターンがナノレベルにまで微細化。素子構造の立体化・複雑化も加速する一方だ。これに伴って、想定どおりの品質のチップを採算の取れる歩留まりで製造することが困難になってきている。チップの品質に及ぼす製造環境のブレ・ズレ・ムラの影響が大きくなっているからだ。製造条件を設定する際には、製造環境が変動することを大前提として考え、その対処法を考える必要が出てきている。こうした...
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